—個理想的真空系統或真空容器,應當是不存在任何漏孔,不產生任何漏氣現象的。但是任何真空系統或真空容器來說絕對不漏的現象是不可能的。特別是在壓力極低的情況下,隨漏氣現象的影響不斷加劇,真空度達不到預定的工藝要求,是一個相當普遍的問題。為此檢測真空系統或真空容器存在的漏氣部位、確定漏孔的堵塞漏孔從而消除 漏氣現象,就成為真空技術工作者的一項重要工作。
所謂漏氣或稱實漏、它是指氣體通過真空系統上的漏孔或間隙,從側流向低壓側的一種現象。真空檢漏技術中常用基本概念主要有如下各點。
①虛漏是相對于實漏而言的一種物理現象。這大都是由于材料的放氣、解吸、凝體或系統內存在死空間中氣體的流出等原因而引起真空系統或容器中壓力升高的一種現象,真空檢漏作業時要排除虛漏的影響。
②氣密性-它是表征真空系統或容器的壁對空氣不可滲透程度的一種性能。
③漏孔-漏孔是指真空器存在的形狀不定、極其微小的孔洞或間陳。大過這種小孔或間隙進人真空系統或容器中。
④漏率-漏率即漏氣速率。它是指單位時間內通過漏孔或間隙流人到真空系統或容器內的氣體量。
⑤最小可檢漏率它是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的最小漏率。
⑥檢漏靈敏度或稱有效靈敏度,即檢漏儀器 在最佳工作狀態下能檢測出的最小漏率。
⑦反應時間又稱響應時間,它是指從檢漏方法開始實施(如開始噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其最大值的63%時所需要的時間.
⑧消除時間它是指從檢漏方法停止(如停止 噴吹試漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%時所箝要的時間,
⑨漏孔堵塞現象它是指由塵;蛞后w所造成 的漏孔堵塞,這些堵塞常常是指由于檢漏作業搡作不當而導致發生的一種暫時現象,檢漏時似乎不漏氣, 但一經排氣又會出現漏氣的一種現象。
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